Čisté prostory ISO 14644 – Elektrostatické a ionizační testy | Kontrolní seznam pro auditora |
Elektrostatické a ionizační testy
Všeobecně
- Prověřte, zda test obsahuje dvě části: elektrostatický test a test ionizačního generátoru v souladu s ISO 14644-1.
- Ověřte, zda byl účel elektrostatického testu správně vyhodnocen pro měření úrovně elektrostatického náboje na pracovních a výrobkových površích v čistých prostorách.
- Ověřte, zda byla efektivita eliminace statických nábojů a nerovnováha mezi množstvím generovaných kladných a záporných ionů měřeny podle ISO 14644-1.
Postupy pro elektrostatické a ionizační testy
- Postup pro elektrostatický test
- Ověřte, zda byla přítomnost kladných nebo záporných elektrostatických nábojů na pracovních površích v čistých prostorách měřena pomocí elektrostatického voltmetru nebo fieldmetru dle ISO 14644.
- Prověřte, zda byly zaznamenány výsledky měření elektrostatického voltmetru.
- Ověřte, zda byla staticko-dizipativní vlastnost vyhodnocena měřením povrchového odporu a únikového odporu na površích podle ISO 14644-1.
- Postup pro test ionizačního generátoru
- Ověřte, zda bylo provedeno měření doby vybíjení za účelem vyhodnocení efektivity eliminace statických nábojů pomocí ionizačních generátorů v čistých prostorách podle ISO 14644.
- Ověřte, zda byla měřena offsetová napětí podle ISO 14644-1 pro vyhodnocení nerovnováhy kladných a záporných ionů v ionizovaném proudu vzduchu z ionizačních generátorů.
- Postup pro elektrostatický test
Přístroje pro elektrostatické a ionizační testy
- Ověřte, zda byly použity vhodné přístroje s platným kalibračním certifikátem pro testy v čistých prostorách podle ISO 14644 a ISO 14644-1.
Zprávy o testech
- Ověřte, zda byly zaznamenány všechny relevantní informace a data v souladu s článkem 5 pro čisté prostory podle ISO 14644.
- Prověřte, zda obsahuje typ testů a měření, měřící podmínky, typová označení každého měřícího přístroje použitého a jeho kalibrační stav, teplotu, vlhkost a další environmentální data, pokud jsou relevantní, místní body měření, stavy obsazenosti, výsledek měření a další pro měření relevantní data v čistých prostorách dle ISO 14644-1.
www.kvalifikace-validace.cz
Všechna práva vyhrazena.
Kontakt
-
Email: info@kvalifikace-validace.cz
Telefon:
+420 735 359 289
(jazyk: čeština)
+420 735 359 545 (jazyk: angličtina, polština)
Monitorování elektrostatických parametrů v čistých prostorech vyžaduje systematický přístup. Pro kritické provozy je doporučeno kontinuální monitorování pomocí instalovaných fieldmetrů s alarmovou signalizací. Data z monitoringu by měla být ukládána v elektronickém systému pro pozdější analýzu trendů. Důležité je stanovit vhodné akční a alarmové limity na základě požadavků procesu a historických dat. Při překročení limitů musí být definován postup pro nápravná opatření včetně eskalačních procedur.
Při validaci čistých prostor je klíčové správné rozmístění měřicích bodů pro elektrostatické testy. Měření by mělo být prováděno na všech kritických površích, zejména v místech manipulace s elektrostaticky citlivými komponenty. Pro každý měřicí bod je nutné zaznamenat přesnou polohu a orientaci měřicího přístroje. Validační protokol musí obsahovat kompletní dokumentaci včetně map měřicích bodů, environmentálních podmínek a použitých přístrojů. Všechna data musí být archivována v systému řízení dokumentace.
Pro komplexní hodnocení elektrostatických vlastností povrchů je třeba kombinovat několik měřicích metod. Základním parametrem je povrchový odpor, který se měří pomocí dvou elektrod umístěných na povrchu materiálu ve standardní vzdálenosti. Doplňkovým měřením je stanovení únikového odporu, kde se měří odpor mezi povrchem a zemí. Při měření je nutné dodržet předepsané klimatické podmínky – teplotu 23 ±2°C a relativní vlhkost 50 ±5%. Pro kritické aplikace je vhodné provádět také měření triboelektrického náboje.
Měření efektivity ionizačních generátorů vyžaduje použití specializovaných přístrojů s vysokou přesností. Pro správné stanovení doby vybíjení je nutné použít charged plate monitor (CPM) s přesností měření ±5% nebo lepší. Offset voltage by mělo být měřeno pomocí elektrometru s rozlišením minimálně 1V. Důležitá je také pravidelná kalibrace těchto přístrojů v akreditované laboratoři, přičemž kalibrační interval by neměl přesáhnout 12 měsíců. Všechny měřicí přístroje musí mít platný kalibrační certifikát.
Správná instalace a údržba ionizačních systémů významně ovlivňuje jejich účinnost. Ionizátory musí být umístěny v optimální vzdálenosti od chráněného prostoru, typicky 30-60 cm. Je nezbytné pravidelně čistit emitační hroty a kontrolovat jejich stav, protože znečištění může výrazně snížit účinnost ionizace. Doporučuje se také pravidelná kontrola vyváženosti iontů pomocí měření offset voltage, které by nemělo překročit ±30V. Pro kritické aplikace je vhodné použít ionizátory s automatickou zpětnou vazbou.