Elektrostatické a ionizační testy

Elektrostatické a ionizační testy

• Všeobecně

  • Prověřte, zda test obsahuje dvě části: elektrostatický test a test ionizačního generátoru v souladu s ISO 14644-1.
  • Ověřte, zda byl účel elektrostatického testu správně vyhodnocen pro měření úrovně elektrostatického náboje na pracovních a výrobkových površích v čistých prostorách.
  • Ověřte, zda byla efektivita eliminace statických nábojů a nerovnováha mezi množstvím generovaných kladných a záporných ionů měřeny podle ISO 14644-1.

• Postupy pro elektrostatické a ionizační testy

  • Postup pro elektrostatický test
    • Ověřte, zda byla přítomnost kladných nebo záporných elektrostatických nábojů na pracovních površích v čistých prostorách měřena pomocí elektrostatického voltmetru nebo fieldmetru dle ISO 14644.
    • Prověřte, zda byly zaznamenány výsledky měření elektrostatického voltmetru.
    • Ověřte, zda byla staticko-dizipativní vlastnost vyhodnocena měřením povrchového odporu a únikového odporu na površích podle ISO 14644-1.
  • Postup pro test ionizačního generátoru
    • Ověřte, zda bylo provedeno měření doby vybíjení za účelem vyhodnocení efektivity eliminace statických nábojů pomocí ionizačních generátorů v čistých prostorách podle ISO 14644.
    • Ověřte, zda byla měřena offsetová napětí podle ISO 14644-1 pro vyhodnocení nerovnováhy kladných a záporných ionů v ionizovaném proudu vzduchu z ionizačních generátorů.

• Přístroje pro elektrostatické a ionizační testy

  • Ověřte, zda byly použity vhodné přístroje s platným kalibračním certifikátem pro testy v čistých prostorách podle ISO 14644 a ISO 14644-1.

• Zprávy o testech

  • Ověřte, zda byly zaznamenány všechny relevantní informace a data v souladu s článkem 5 pro čisté prostory podle ISO 14644.
  • Prověřte, zda obsahuje typ testů a měření, měřící podmínky, typová označení každého měřícího přístroje použitého a jeho kalibrační stav, teplotu, vlhkost a další environmentální data, pokud jsou relevantní, místní body měření, stavy obsazenosti, výsledek měření a další pro měření relevantní data v čistých prostorách dle ISO 14644-1.