Kontrola netěsnosti čistých prostor podle ISO 14644

Všeobecně

• Potvrzení, že test byl proveden k určení pronikání kontaminovaného vzduchu do čistých zón z okolních nekontrolovaných oblastí.
• Ověření, zda byly kontrolovány netěsnosti v tlakových stropních systémech podle ISO 14644-1.

Postupy pro kontrolu netěsnosti Metoda s využitím LSAPC (detektor částic na bázi rozptylu světla)

• Zjištění koncentrace částic mimo čistou místnost v blízkosti povrchu nebo dveří, které mají být hodnoceny.
• Potvrzení, že tato koncentrace je vyšší než koncentrace v čistém prostoru o faktor 103 a dosahuje alespoň hodnoty (3,5 ⨯ 106) částic/m3.
• Kontrola těsnosti spojů, trhlin nebo průchodů ve vzdálenosti max. 5 cm od místa kontroly rychlostí skenování cca 5 cm/s podle standardu ISO 14644.
• Zaznamenání a hlášení všech hodnot větších než 10−2-krát měřená koncentrace vnějších aerosolových částic.

Metoda s využitím aerosolového fotometru

• Generování aerosolu mimo čistou místnost nebo zařízení v souladu s normou ISO 14644-1 v koncentraci, která způsobí překročení 0,1 % na fotometru.
• Zjištění hodnot větších než 0,01 % označuje netěsnost.
• Kontrola těsnosti spojů, trhlin nebo švů ve vzdálenosti max. 5 cm od místa kontroly rychlostí skenování cca 5 cm/s.
• Měření koncentrace u otevřených dveří ve vzdálenosti 0,3 m až 1 m od otevřených dveří.
• Zaznamenání a hlášení všech hodnot větších než 0,01 % stupnice fotometru.

Zařízení pro kontrolu netěsnosti čistých prostor

• Ověření použití uměle generovaného aerosolového zdroje dle ISO 14644 s platným kalibračním certifikátem.
• Ověření použití LSAPC (nebo fotometru) s platným kalibračním certifikátem a schopností detekce částic o velikosti 0,5 μm nebo menších.

Zprávy o testech

• Kontrola typových označení použitého měřicího zařízení a jeho kalibračního stavu v souladu s normou ISO 14644-1.
• Ověření techniky sběru dat.
• Kontrola míst měření.
• Kontrola stavu obsazenosti.
• Kontrola výsledků měření čistých prostor.